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620CNTs-PDC 用 PECVD 工藝由陶瓷靶材通過磁控濺射及離子源加強的方法在材料表面進行薄膜涂層，它具有常溫 加工的特殊工藝，能在塑料、橡膠、其他高分子樹脂等基材上進行加工。這種室溫沉積制備的 300-700 納米薄膜涂 層，超高硬度，厚度均勻、致密無針孔、不含助劑、不損傷工件、有優異的硬度和潤滑性。在需要運動
