適配芯片固晶、塑封固化、烘烤退火、熱循環(huán)可靠性全封裝工序。冷熱雙獨(dú)立回路,升降溫速率精準(zhǔn)可控,溫場(chǎng)均勻,杜絕局部高溫、溫差沖擊導(dǎo)致芯片翹曲、金線脫落、膠體開裂、內(nèi)部應(yīng)力損傷。
循環(huán)管路采用 316L 鏡面不銹鋼,無(wú)雜質(zhì)析出、耐環(huán)氧塑封料輕微腐蝕,全密閉介質(zhì)零揮發(fā)滲漏,不會(huì)污染晶圓、芯片與精密封裝工裝,滿足無(wú)塵半導(dǎo)體車間潔凈要求。
支持自定義多段封裝工藝曲線:預(yù)熱升溫→恒溫塑封固化→勻速冷卻定型、高低溫交變老化,精準(zhǔn)匹配各類 IC、功率器件封裝溫控需求。
整機(jī)低震動(dòng)運(yùn)行,保護(hù)精密引線與微小芯片;搭載缺液、超溫、超壓、漏電多重安全聯(lián)鎖,可與固晶機(jī)、塑封模具、烘烤腔體 PLC 聯(lián)動(dòng),支持 24 小時(shí)無(wú)塵車間連續(xù)封裝生產(chǎn),提升封裝良品率與芯片長(zhǎng)期穩(wěn)定性。