CMP化學(xué)拋光過(guò)程用PFA容量瓶低本底蝕刻液剝離液定容瓶
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商品詳情
隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的增長(zhǎng)，CMP拋光液市場(chǎng)規(guī)模進(jìn)一步擴(kuò)大，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是晶圓制造的關(guān)鍵步驟，其作用在于減少晶圓表面的不平整，而拋光液墊是CMP技術(shù)的關(guān)鍵耗材，價(jià)值量較高，占CMP耗材49%價(jià)值量，其品質(zhì)直接影響著拋光效果，因而對(duì)提高晶圓制造質(zhì)量至關(guān)重要。PFA容量瓶半透明透明可視度高，本底值低耐受強(qiáng)酸堿，未添加回料具有低的本底，金屬元素鉛、鈾含量小于0.01ppb,無(wú)溶出與析出，是目前潔凈的實(shí)驗(yàn)分析器皿，常用于半導(dǎo)體、多晶硅、光伏電子 鋰電等行業(yè)，在CMP中用來(lái)配置清洗液
特性：
1.外觀半透明；
2.耐溫性：-200～+260℃；
3、耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無(wú)關(guān)；
4、防污染：金屬元素值低；
5、具有低的溶出和析出特性，是儲(chǔ)存標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和不同試劑的器皿；
