商鋪名稱：昆山艾科迅機械有限公司
聯系人：羅女士（先生）
聯系手機：
固定電話：
企業郵箱：2265362702@qq.com
聯系地址：生產基地：江蘇省昆山市經濟技術開發區六時涇路28號
郵編：215301
聯系我時，請說是在五金機電網上看到的，謝謝！
商品詳情
輝光等效等離子PECVD系統
微行爐業公司研制的PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。其優勢有沉積溫度低，沉積速率快，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂等。
輝光等效等離子PECVD系統由管式爐，真空機組分子泵或機械泵，多通道氣路系統這三部分組成，成套出售，根據客戶要求定制，有需要的來電咨詢索取相關產品資料及報價，24小時業務專線：15026959022
