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| CVD石墨烯生長爐 |
雙溫區滑軌式真空管式爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗,這款設備是根據開啟式真空管式爐改裝而來的,操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率。
滑軌式真空管式爐:
額定功率:3KW
額定電壓:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz
最高溫度:1200℃ (1 hour)
持續工作溫度:1100 ℃
最大升&降溫速率:≥10℃/S
爐管尺寸高純石英管: Φ50,Φ60,Φ80,Φ100×1400mm
加熱區長度:200 mm+200mm
恒溫區長度:100 mm+100mm
控溫方式:30段可編程PID
控溫精度:±1℃
進口真空系統:
采用KF25系列波紋管和手動擋板閥
真空度可達10-1Pa
抽速:4L/S
數顯真空測試儀可直觀的顯示數值
內部裝有高精度質量流量計可準確的控制氣體流量
氣體流量范圍為0-200 誤差為±1.5%
一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥
不銹鋼針閥安裝在左側可手動控制混合氣體輸入