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ITO靶材燒結
＜特點＞
ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型，再經高溫氣氛燒結(1600度，通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。
公司為助力中國靶材的市場占有率，引進國外先進設計理念，結合國內實際生產經驗，研發出了性能卓越的ITO靶材燒結爐，解決了靶材生產過程中最艱難的一環-----燒結，大大提升了產品合格率。該設備內部氧氣純度可以超過99.5%，爐內氣氛始終處于微正壓，設備可完成脫脂燒結一體化，大大節約能耗縮短生產周期，爐內溫度均勻性一般在±5℃，不超±10℃。臺車采用四軸一體滑軌升降，安全美觀，可以選配脫脂時產生的有機氣體處理設備，我們稱之為：廢氣凈化爐，還工人一個優質的工作環境，為國家環保事業助力。
＜用途＞
■?精細陶瓷、電子元件、磁性材料、靶材材料的燒成。
＜主要性能＞
型號
項目
RB-17-1507585/Q
長期工作溫度
1650℃（最高1700℃）
電源
380V±10%，50Hz±5%，180kW
爐膛有效尺寸
（長x寬x高）
1500L*750W*850H
整體外形尺寸
（長x寬x高）
約3200×2720×3660 mm
（以實際尺寸為準）
氣氛
氧氣或氮氣（純度99.5%）
爐體材質
輕質進口陶瓷纖維
加熱元件
1800硅鉬棒
測溫偶
B型雙鉑銠熱電偶
溫度均勻性
±10℃
(在1400L×650W×750H?均溫區內，空爐狀態，1650℃保溫2小時測試，9點測溫)
升溫時間
0~1650℃/4hr(可編程序控制）
控溫方式
儀表+SCR控制
注：可根據用戶要求另行設計制造，更多規格參數及詳細技術方案請來電索取。
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