商鋪名稱：銘衍海（常州）微電子有限公司
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一、產品簡介：
銘衍海（常州）微電子氧化鋁拋光液MYH-APS05 是一款專為半導體、光學及精密金屬等高端制造場景研發的酸性氧化鋁拋光液，以高純度 α- 氧化鋁為磨料，采用分散技術配制的穩定水性懸浮液。專為化學機械拋光（CMP）工藝設計，通過機械研磨 + 弱化學腐蝕的協同作用，實現低損傷、高效率的超精密表面平坦化處理。
二、銘衍海氧化鋁拋光液MYH-APS05 產品特點：
1.精密粒徑控制
液體粒徑 200-300nm，顆粒均勻無團聚。
有效避免拋光劃痕，確保亞納米級表面粗糙度（Ra≤0.1nm）。
2.高穩定懸浮體系
乳白色水性液體，pH 4-7（弱酸性）。
長期靜置不易分層、沉淀，循環使用壽命長。
3.高效低損傷拋光
氧化鋁硬度高（莫氏硬度 9），切削力強勁，材料去除率穩定。
弱酸性配方，化學作用溫和，對基材損傷極小，無腐蝕、無氧化。
4.環保易清洗
水性體系，無重金屬、無揮發有機物（VOC）。
拋光后工件易沖洗、無殘留，不影響后續制程。
5.適配性強
兼容硅片、化合物半導體、光學玻璃、藍寶石、精密金屬等多種硬脆材料。
適配中心加壓、四角加壓等各類自動 / 半自動拋光機。
三、銘衍海氧化鋁拋光液MYH-APS05 應用范圍：
1.半導體晶圓制造
硅片（Si）：8/12 英寸晶圓的粗拋、精拋、終拋，實現表面全局平坦化。
化合物半導體：碳化硅（SiC）、砷化鎵（GaAs）等晶圓拋光。
STI（淺槽隔離）：集成電路制造關鍵制程的介質層平坦化。
2.光學與光通訊
光學玻璃、藍寶石、激光晶體（YAG）的超精拋光。
光纖連接器端面精密拋光，降低插損、回損，提升光信號傳輸質量。
3.精密金屬與電子
不銹鋼、鈦合金、鋁合金等精密零部件的鏡面拋光。
精密模具、引線框架、電子陶瓷的表面精加工。
四、常見類型
根據粒徑、固含量、pH 值及應用場景，銘衍海氧化鋁拋光液主要分為以下系列：
MYH-APS05：標準型，200-300nm，酸性，半導體 / 光學通用。
MYH-AP02：納米精拋型，50-100nm，超精密終拋，適配原子級平整度要求。
MYH-APS10：高濃度型，粗拋 / 高效去料，提升加工效率。
MYH-APS5A：堿性版，金屬 / 合金專用，化學去除率更高。
五、儲存與使用
1.儲存條件:5～35℃陰涼干燥密封保存，忌陽光直射、高溫及冰凍（＜0℃易結塊）；未開封保質期 6 個月，開封后建議 3 個月內用完；遠離強酸、強堿、氧化劑，置于兒童接觸不到處。存放：遠離強酸、強堿及氧化劑，避免兒童接觸。
2.使用方法：使用前充分搖勻，建議攪拌 5-10 分鐘。
3.安全注意事項:操作時佩戴護目鏡與耐酸堿手套，避免接觸皮膚、眼睛；不慎接觸立即用大量清水沖洗，嚴重時就醫；廢液按工業廢水標準處理，禁止直排。
