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上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源 KDC 10, 寬束離子源,最小型號的離子源, 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射. 適用于已知的所有離子源應用.
離子束流: >10 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: 燈絲, 流量 (Typical flow): 1-5 sccm.
加熱燈絲產生電子, 增強設計輸出高質量, 穩定的電子流.
離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.
無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設計.
伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術參數：
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離子源型號 |
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Discharge |
DC 熱離子 |
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離子束流 |
>10 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
1 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
1-5 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
11.5 cm |
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直徑 |
4 cm |
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中和器 |
燈絲 |
伯東KRI 考夫曼離子源 KDC 10 應用領域：
1. 離子清洗, 顯微鏡拋光 IBP
2. 濺鍍和蒸發鍍膜 PC
3. 輔助鍍膜(光學鍍膜) IBAD
4. 表面改性, 激活 SM
5. 離子濺射沉積和多層結構 IBSD
6. 離子蝕刻 IBE
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