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隔膜泵又稱控制泵，是執行器的主要類型，通過接受調制單元輸出的控制信號，借助動力操作去改變流體流量。隔膜泵一般由執行機構和閥門組成。采用壓縮空氣為動力源，對于各種腐蝕性液體，帶顆粒的液體，高粘度、易揮發、易燃、劇毒的液體，均能予以抽光吸盡。隔膜泵設備系統，由一個或多個雙側泵組成，例如一個氣動雙隔膜泵。泵上的集合管分開，使泵的每一側泵出多成分材料中的一種成分，一個積累器與兩側的輸出相連，使泵的異相輸出變為同相。

隔膜式隔離閥可選用在泵的每一側出口，從而防止混合材料回流。如果需要1：1以外的混合比，可以采用一個以上的這種泵一起使用，從而達到多種混合比。

隔膜失效監測系統，用于檢測隔膜泵隔膜的泄漏。該系統包括泵，該泵具有一個工作室，內裝工作液；一個泵送室，用以泵送材料進入和送出泵；和一個隔膜，用以將工作室與泵送室隔離。一個第一光纖與工作室相連接，用以傳輸一光學信號穿過工作液。一個第二光纖與工作室相連接，用以接收由第一光纖傳出

的光學信號。一個電信號建立裝置，在光信號從第一光纖傳出，穿過未被污染的工作液到達第二光纖時，建立第一電信號。此電信號建立裝置，在光信號從第一光纖傳出，穿過被污染了的工作液到達第二光纖時，建立第二電信號。當第二電信號被建立時，據此，污染材料穿過隔膜進入工作室的泄漏問題可被檢測到。