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iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59042908
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59042945
iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59042946
iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59042957
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59062945

Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
 
Edwards 專為需要較高的工作溫度以避免制程氣體冷凝的工藝（如 300 mm LPCVD 氮化物）而設計。

應用

負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

功能和優勢

優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

峰值速度:  1800 m3h-1
           1060 cfm
           30000 l min-1
極限真空:  1 x 10-3 mbar
           7.5 x 10-4 Torr
           0.1 Pa
典型軸封氮流量:  4 slm
進氣口連接: ISO160
出口連接:   NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量: 240 l h-1
                             4 l min-1
重量:         502 kg
極限功率輸入: 4.1 kW
電機額定功率: 7.0 kW
油容量:       1.6 L