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CI超高真空蝶閥
CI超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。蝶門經過兩次動作完成關閉或打開蝶門的過程，閥體的兩面沒有正反面安裝方向，閥們的壓強范圍可拓寬到2x105-6.7x10-7Pa.適用介質為純凈空氣或非腐蝕性氣體。
主要技術性能
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適用范圍： |
2x105~6.7x10-7Pa |
|
閥門漏率： |
≤1.3x10-7 Pa.L/S(正反向) |
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適用溫度： |
-30~+80℃ |
|
安裝狀態： |
任意 |
|
安裝方向： |
任意 |
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開啟壓差： |
推薦值：1x105Pa; 最大值：2x105Pa. |
|
開門角度： |
0-90°任意調節 |
外形及連接尺寸(mm)
|
型號 |
DN |
D |
Do |
D1 |
B |
H |
B1 |
n-Mc |
|
CI-63 |
63 |
130 |
110 |
68 |
40 |
165 |
82 |
4-M8 |
|
CI-80 |
80 |
145 |
125 |
85 |
40 |
173 |
82 |
8-M8 |
|
CI-100 |
100 |
165 |
145 |
105 |
40 |
183 |
82 |
8-M8 |
|
CI-160 |
160 |
225 |
200 |
165 |
52 |
220 |
90 |
8-M10 |
|
CI-200 |
200 |
285 |
260 |
208 |
62 |
245 |
94 |
12-M10 |
|
CI-250 |
250 |
335 |
310 |
258 |
74 |
280 |
100 |
12-M10 |
|
CI-320 |
320 |
425 |
395 |
328 |
90 |
330 |
125 |
12-M12 |
|
CI-400 |
400 |
510 |
480 |
410 |
106 |
360 |
160 |
16-M12 |
