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．表面分析：
元素成分及化學(xué)價態(tài)，元素成分半定量分析 ，粉末樣品及固相樣品的物相分析，微量元素成分分析，有機物分析
2．表面幾何特性：
表面三維形貌，表面粗糙度，表面形貌，表面顏色分析，孔隙率
3．材料力學(xué)特性：
材料表面（薄膜）基本力學(xué)性能，材料的硬度，薄膜厚度，薄膜與基體的結(jié)合力，表面應(yīng)力分析
4．材料物理化學(xué)性能：
耐腐蝕性能，電化學(xué)性能，有色及黑色金屬的組織測定，金屬的夾雜物、晶粒度測定，灰鑄鐵球墨鑄鐵測定，各種金屬零部件斷裂成分失效分析
