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商品詳情
erotech（艾羅德克）ABRS/ABRT/ABRX精密氣浮轉臺
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Aerotech氣浮旋轉平臺采用空氣靜壓軸承+無槽無刷直驅力矩電機，無機械接觸、無摩擦、無齒槽力矩波動，搭配內置超高精度圓光柵，是半導體、光學計量、同步輻射、超精密加工旋轉軸方案。
通用核心特點
1.?氣浮軸承：止推+徑向獨立氣路，納米級軸向/徑向跳、極小角擺（tilt error），無磨損、壽命極長；
2.?無槽直驅電機：零齒槽效應，低速掃描速度穩定性可達0.0001%；
3.?中空通孔：中心大孔徑，可穿激光光路、真空管路、線纜；
4.?直連圓光柵：細分后分辨率低至0.007 arcsec，雙向重復定位＜1 arcsec；
5.?無回差、無滯后：無齒輪/聯軸器，動態帶寬高；
6.?可選集成滑環、旋轉氣接頭、真空通道、真空兼容版本。
典型應用
晶圓檢測、X射線衍射、光學干涉/校準、金剛石車削、同步輻射光束線、MEMS納米制造、圓度儀、慣性測試、激光微加工。
二、五大標準氣浮轉臺產品線（供貨主流型號）
1. ABRS 超薄扁平氣浮轉臺（最通用、出貨量最大）
定位：低矮機身、緊湊型，半導體/光學檢測主力，厚度僅80~110mm
標準型號：ABRS-150MP / ABRS-200MP / ABRS-250MP / ABRS-300MP
關鍵參數簡表
型號 整機寬度 臺面直徑 高度 中心通孔 最大軸向負載 轉速 定位精度
ABRS150MP 150mm 128.1mm 80mm 8mm 8kg 300rpm ±3 arcsec
ABRS200MP 200mm 178.1mm 90mm 20mm 31kg 500rpm ±2 arcsec
ABRS250MP 250mm 228.1mm 100mm 35mm 66kg 500rpm ±2 arcsec
ABRS300MP 300mm 278.1mm 110mm 75mm 97kg 500rpm ±2 arcsec
- 誤差運動：異步軸向/徑向跳＜20nm，角擺＜0.2 arcsec；
- 后綴MP=標準光柵版，可選高分辨率光柵、真空適配、滑環集成。
2. ABRT 重載標準氣浮轉臺（機身更高、扭矩更大）
定位：高負載、大扭矩，DVD母盤、精密計量、光學加工
標準型號：ABRT-150 / ABRT-200 / ABRT-260
- 臺面直徑：100/145/200mm；整機高度135~185mm；
- 連續堵轉扭矩：0.36 / 3.7 / 6.7 N·m；
- 中心通孔20~50mm，負載高于同尺寸ABRS；
- 光柵基線更高，適合大慣量工件旋轉。
3. ABRX 旗艦超精密氣浮轉臺（實驗室/同步輻射）
定位：行業精度，納米計量、同步輻射、超精密車削
- 誤差運動：異步軸向/徑向跳＜10nm，角擺＜0.05 arcsec；
- 定位精度±0.1~±0.5 arcsec，重復＜0.1 arcsec；
- 獨立優化無干擾電機，不破壞軸承氣膜穩定性；
- 分多尺寸：ABRX-200、ABRX-300、ABRX-400，大孔徑重載款；
- 高端定制款ABRT400（μARC校準系統專用）：精度＜0.12 arcsec，用于國家計量院角度基準設備。
4. ALAR / ALAR-XP 超大孔徑氣浮轉臺
定位：中心超大通孔，光路貫穿、大尺寸晶圓/工件
- ALAR-XP系列：通孔最大可達150mm，適合大口徑光學元件、真空腔體集成；
- 直驅大扭矩電機，支持低速連續掃描，適配光束線、紅外檢測。
5. ARMS 氣浮慣性仿真轉臺（專用測試類）
定位：陀螺儀、IMU、加速度計慣性測試，運動仿真臺
- 氣浮軸承版本可選，負載230kg；
- 速率穩定性0.0001%，速率分辨率0.001°/s；
- 集成大功率滑環、多路氣/電旋轉接頭，軍工慣性標定專用。
三、選型區分速記
1.?設備空間有限、超薄需求、常規晶圓檢測 → ABRS系列（150/200/250/300MP）
2.?需要更大扭矩、較重工件、通用精密加工 → ABRT系列
3.?計量基準、同步輻射、納米級極限精度 → ABRX / ABRT400
4.?光路貫穿、大尺寸工件、超大中心孔 → ALAR-XP
5.?陀螺儀/慣導組件標定 → ARMS氣浮款
四、配套供貨配件
1.?驅動控制器：automation1/A3200 / Soloist / Ndrive 伺服驅動器；
2.?氣站單元：潔凈干燥氣源調壓過濾模塊；
3.?集成附件：內置滑環、真空旋轉接頭、氣路旋轉通道；
4.?環境適配：真空兼容版本、低發熱低溫款、花崗巖安裝底座；
5.?反饋升級：超高線數光柵、外置激光干涉角度校準模塊。
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Aerotech氣浮旋轉平臺采用空氣靜壓軸承+無槽無刷直驅力矩電機，無機械接觸、無摩擦、無齒槽力矩波動，搭配內置超高精度圓光柵，是半導體、光學計量、同步輻射、超精密加工旋轉軸方案。
通用核心特點
1.?氣浮軸承：止推+徑向獨立氣路，納米級軸向/徑向跳、極小角擺（tilt error），無磨損、壽命極長；
2.?無槽直驅電機：零齒槽效應，低速掃描速度穩定性可達0.0001%；
3.?中空通孔：中心大孔徑，可穿激光光路、真空管路、線纜；
4.?直連圓光柵：細分后分辨率低至0.007 arcsec，雙向重復定位＜1 arcsec；
5.?無回差、無滯后：無齒輪/聯軸器，動態帶寬高；
6.?可選集成滑環、旋轉氣接頭、真空通道、真空兼容版本。
典型應用
晶圓檢測、X射線衍射、光學干涉/校準、金剛石車削、同步輻射光束線、MEMS納米制造、圓度儀、慣性測試、激光微加工。
二、五大標準氣浮轉臺產品線（供貨主流型號）
1. ABRS 超薄扁平氣浮轉臺（最通用、出貨量最大）
定位：低矮機身、緊湊型，半導體/光學檢測主力，厚度僅80~110mm
標準型號：ABRS-150MP / ABRS-200MP / ABRS-250MP / ABRS-300MP
關鍵參數簡表
型號 整機寬度 臺面直徑 高度 中心通孔 最大軸向負載 轉速 定位精度
ABRS150MP 150mm 128.1mm 80mm 8mm 8kg 300rpm ±3 arcsec
ABRS200MP 200mm 178.1mm 90mm 20mm 31kg 500rpm ±2 arcsec
ABRS250MP 250mm 228.1mm 100mm 35mm 66kg 500rpm ±2 arcsec
ABRS300MP 300mm 278.1mm 110mm 75mm 97kg 500rpm ±2 arcsec
- 誤差運動：異步軸向/徑向跳＜20nm，角擺＜0.2 arcsec；
- 后綴MP=標準光柵版，可選高分辨率光柵、真空適配、滑環集成。
2. ABRT 重載標準氣浮轉臺（機身更高、扭矩更大）
定位：高負載、大扭矩，DVD母盤、精密計量、光學加工
標準型號：ABRT-150 / ABRT-200 / ABRT-260
- 臺面直徑：100/145/200mm；整機高度135~185mm；
- 連續堵轉扭矩：0.36 / 3.7 / 6.7 N·m；
- 中心通孔20~50mm，負載高于同尺寸ABRS；
- 光柵基線更高，適合大慣量工件旋轉。
3. ABRX 旗艦超精密氣浮轉臺（實驗室/同步輻射）
定位：行業精度，納米計量、同步輻射、超精密車削
- 誤差運動：異步軸向/徑向跳＜10nm，角擺＜0.05 arcsec；
- 定位精度±0.1~±0.5 arcsec，重復＜0.1 arcsec；
- 獨立優化無干擾電機，不破壞軸承氣膜穩定性；
- 分多尺寸：ABRX-200、ABRX-300、ABRX-400，大孔徑重載款；
- 高端定制款ABRT400（μARC校準系統專用）：精度＜0.12 arcsec，用于國家計量院角度基準設備。
4. ALAR / ALAR-XP 超大孔徑氣浮轉臺
定位：中心超大通孔，光路貫穿、大尺寸晶圓/工件
- ALAR-XP系列：通孔最大可達150mm，適合大口徑光學元件、真空腔體集成；
- 直驅大扭矩電機，支持低速連續掃描，適配光束線、紅外檢測。
5. ARMS 氣浮慣性仿真轉臺（專用測試類）
定位：陀螺儀、IMU、加速度計慣性測試，運動仿真臺
- 氣浮軸承版本可選，負載230kg；
- 速率穩定性0.0001%，速率分辨率0.001°/s；
- 集成大功率滑環、多路氣/電旋轉接頭，軍工慣性標定專用。
三、選型區分速記
1.?設備空間有限、超薄需求、常規晶圓檢測 → ABRS系列（150/200/250/300MP）
2.?需要更大扭矩、較重工件、通用精密加工 → ABRT系列
3.?計量基準、同步輻射、納米級極限精度 → ABRX / ABRT400
4.?光路貫穿、大尺寸工件、超大中心孔 → ALAR-XP
5.?陀螺儀/慣導組件標定 → ARMS氣浮款
四、配套供貨配件
1.?驅動控制器：automation1/A3200 / Soloist / Ndrive 伺服驅動器；
2.?氣站單元：潔凈干燥氣源調壓過濾模塊；
3.?集成附件：內置滑環、真空旋轉接頭、氣路旋轉通道；
4.?環境適配：真空兼容版本、低發熱低溫款、花崗巖安裝底座；
5.?反饋升級：超高線數光柵、外置激光干涉角度校準模塊。
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