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北京嘉遠環(huán)保科技有限公司超純水制備系統(tǒng)通常包含以下幾個關(guān)鍵步驟:
預(yù)處理階段:去除原水中的懸浮固體、顆粒物、有機物及微生物等雜質(zhì),常用設(shè)備有多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等。
反滲透(RO)階段:通過反滲透膜將大部分溶解性鹽分、有機物和微生物等進一步去除,得到初級純水。
離子交換(IX)階段:采用陰陽離子交換樹脂去除反滲透后的水中殘留的離子污染物。
電去離子(EDI)階段:這是一種連續(xù)電除鹽技術(shù),通過電場作用和離子交換樹脂的作用,實現(xiàn)離子的高效去除,從而提高水質(zhì)至更高純度。
殺菌及有機物脫除(UV/TOC):消毒/用于有效減少有機物(通常稱為總有機碳,TOC)含量 。
拋光混床(MB)階段:作為最終精處理步驟,混合型離子交換柱能有效去除痕量離子,保證出水達到超純水標(biāo)準(zhǔn)。
終端過濾(UF/PES):使用超濾或聚醚砜等微孔濾膜進一步過濾,確保最終水質(zhì)符合半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的標(biāo)準(zhǔn)。
通過以上一系列嚴(yán)謹且復(fù)雜的處理工藝,超純水制備系統(tǒng)得以產(chǎn)出適用于各類企業(yè)精密制造流程所需的高品質(zhì)超純水。同時,此類系統(tǒng)需配備完善的水質(zhì)監(jiān)測系統(tǒng),實時監(jiān)控并調(diào)整水質(zhì)參數(shù),確保持續(xù)穩(wěn)定地供應(yīng)超純水。
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