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上架日期： 2025年4月14日瀏覽量： 417次

愛德華RV系列真空泵應(yīng)用真空冶金薄膜覆層LED封裝等應(yīng)用

產(chǎn)品價(jià)格：￥12955.00（人民幣）

供應(yīng)數(shù)量：5

發(fā)貨地：廣東-東莞

最小起訂量：1臺

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東莞市飛粵真空科技有限公司

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商品詳情

愛德華RV系列真空泵應(yīng)用真空冶金薄膜覆層LED封裝等應(yīng)用

愛德華真空泵以高精度、高可靠性、多場景適配性著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、科研、醫(yī)療等高技術(shù)領(lǐng)域。

核心產(chǎn)品線及特點(diǎn)
1. 干式真空泵（Dry Vacuum Pumps）
- 無油污染設(shè)計(jì)：
采用爪式、螺桿式或渦旋式結(jié)構(gòu)，零潤滑油，杜絕油蒸氣反流，滿足半導(dǎo)體、制藥等行業(yè)潔凈度要求（顆粒物＜0.1 μm，碳?xì)浠衔铮?.01 ppm）。
- 耐腐蝕性能：
鍍鎳涂層或陶瓷轉(zhuǎn)子，耐受Cl?、CF?、O?等腐蝕性氣體（如等離子刻蝕工藝）。
- 節(jié)能高效：
變頻驅(qū)動（VSD）技術(shù)，能耗降低30%~50%，適配24小時連續(xù)生產(chǎn)。

代表型號：
-nXDS系列：抽速10~600 m3/h，極限真空≤1×10?2 mbar，適配半導(dǎo)體刻蝕與薄膜沉積。
- STP系列：耐腐蝕設(shè)計(jì)，用于光伏電池鍍膜與LED制造。

2. 渦輪分子泵（Turbo Molecular Pumps）
- 超高真空性能：
磁懸浮或陶瓷軸承技術(shù)，極限真空達(dá)10?1?~10?11 mbar，適配高精度鍍膜、粒子加速器、質(zhì)譜分析。
- 高速穩(wěn)定：
轉(zhuǎn)速90,000 RPM，抽速200~5,000 L/s（氫氣），支持快速抽氣與壓力穩(wěn)定控制。
- 智能監(jiān)控：
集成振動傳感器與溫度保護(hù)，故障率降低80%。

代表型號：
- EXT系列磁懸浮泵：零機(jī)械磨損，壽命＞100,000小時，用于EUV光刻與先進(jìn)半導(dǎo)體工藝。
-nEXT系列：緊湊型設(shè)計(jì)，適配實(shí)驗(yàn)室與小型設(shè)備。

3. 低溫泵（Cryopumps）
- 超大抽速：
對水蒸氣、氫氣等氣體抽速達(dá)10,000~50,000 L/s，極限真空≤10?1? mbar。
-無震動干擾：
無機(jī)械運(yùn)動部件，適配電子顯微鏡、表面分析儀等精密儀器。
- 快速再生：
自動加熱再生周期＜2小時，減少停機(jī)時間。

代表型號：
-CoolPak系列：集成冷頭與壓縮機(jī)，適配真空鍍膜與空間模擬。

關(guān)鍵性能優(yōu)勢

維度	技術(shù)表現(xiàn)	行業(yè)價(jià)值
潔凈度	全干式無油設(shè)計(jì)，顆粒物排放＜0.1 μm	滿足半導(dǎo)體、制藥超潔凈需求
極限真空	干式泵：10?2 mbar；分子泵：10?11 mbar	適配高精度科研與先進(jìn)制程
耐腐蝕性	陶瓷/鍍鎳轉(zhuǎn)子耐受Cl?、O?、NF?等離子體氣體	延長刻蝕與CVD工藝設(shè)備壽命
能效比	變頻驅(qū)動節(jié)能30%~50%，IE4高效電機(jī)	年省電費(fèi)超$10,000（以50kW機(jī)型計(jì)）
智能化	IoT遠(yuǎn)程監(jiān)控+預(yù)測性維護(hù)，故障預(yù)警準(zhǔn)確率＞90%	減少非計(jì)劃停機(jī)，提升OEE 15%~20%

典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體制造
- EUV光刻：EXT磁懸浮分子泵維持超低真空（10?? mbar），保障光刻膠無污染。
- 原子層沉積（ALD）：nXDS干式泵快速抽除前驅(qū)體氣體，膜厚均勻性±0.1 nm。

2. 光伏與顯示行業(yè)
- OLED蒸鍍：STP干式泵耐高溫（150℃），抽速穩(wěn)定保障有機(jī)材料均勻沉積。
- 鈣鈦礦電池鍍膜：渦輪分子泵+低溫泵組合，真空度達(dá)10?? mbar，減少缺陷。

3. 科研與醫(yī)療
- 同步輻射光源：低溫泵抽速50,000 L/s，維持超高真空束線環(huán)境。
- 冷凍電鏡：無振動低溫泵保障亞埃級成像精度。

4. 工業(yè)制造
- 真空釬焊：干式泵快速排除氧化氣體，焊縫強(qiáng)度提升30%。
- 真空冶金：分子泵組實(shí)現(xiàn)10?? mbar環(huán)境，提升金屬純度。

客戶價(jià)值
1.技術(shù)領(lǐng)先：
- 磁懸浮分子泵、耐腐蝕干式泵等技術(shù)，打破國際壟斷。
- 適配3nm以下先進(jìn)半導(dǎo)體制程與EUV光刻需求。
2. 成本優(yōu)化：
- 干式泵免潤滑油維護(hù)，年節(jié)省耗材費(fèi)用$5,000~$20,000。
- 智能監(jiān)控系統(tǒng)減少意外停機(jī)損失，綜合成本降低25%。
3. 可持續(xù)性：
- 低能耗設(shè)計(jì)減少碳足跡，兼容綠色工廠標(biāo)準(zhǔn)（ISO 50001）。
- 長壽命設(shè)計(jì)（分子泵壽命＞10萬小時），減少設(shè)備更換頻次。

選型建議

應(yīng)用場景	推薦產(chǎn)品	關(guān)鍵配置
半導(dǎo)體刻蝕	nXDS系列干式泵	耐Cl?腐蝕涂層+變頻驅(qū)動
EUV光刻	EXT系列磁懸浮分子泵	極限真空10?? mbar+遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊
實(shí)驗(yàn)室分析	nEXT渦輪分子泵	緊湊設(shè)計(jì)+低振動軸承
真空鍍膜	CoolPak低溫泵	抽速20,000 L/s+自動再生功能

愛德華真空泵以超潔凈、耐腐蝕、智能化為核心，成為高端制造與科研領(lǐng)域的標(biāo)桿：
- 半導(dǎo)體行業(yè)：突破EUV光刻與3nm制程真空技術(shù)瓶頸；
- 光伏與顯示：保障OLED與鈣鈦礦電池量產(chǎn)良率；
- 科研醫(yī)療：為超精密儀器提供無振動、超高真空環(huán)境。
如需定制方案，請?zhí)峁┕に噮?shù)（目標(biāo)真空度、氣體類型、抽速需求），我們將為您匹配泵組配置！