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商品詳情
愛發科油式旋片真空泵：光學鍍膜工藝的高效前級抽氣解決方案
核心應用場景 1. 鍍膜前級粗抽：
快速將鍍膜腔體從大氣壓抽至 10?2~10?1 Pa，為分子泵或渦輪泵提供基礎真空環境，縮短設備啟動時間。
2. 輔助離子源清潔：
在離子束輔助沉積（IAD）中，維持低真空環境（1~10 Pa），配合離子轟擊去除基片表面雜質。
3. 多層膜間歇抽氣：
在交替沉積不同材料（如TiO?/SiO?）的工藝間隙，快速排出殘余氣體，確保膜層純度。
技術優勢與適配性
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維度 |
技術表現 |
行業價值 |
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快速抽氣能力 |
抽速200~1500 L/min，5分鐘達10?1 Pa |
縮短鍍膜周期，產能提升15%~25% |
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油污染控制 |
分子篩吸附器+低溫冷阱，油蒸氣濃度＜0.01 ppm |
保障光學薄膜透光率（＞99.5%） |
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耐粉塵設計 |
進氣口預過濾（精度5μm），減少鍍膜顆粒回吸 |
延長泵體維護周期至 12個月 |
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能耗效率 |
智能變頻驅動，待機能耗降低40% |
單臺年節電 1.2萬度，減碳8.5噸 |
與干式泵的對比及適用建議
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指標 |
愛發科油式旋片泵 |
干式螺桿泵 |
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采購成本 |
約 $5,000~$15,000 |
約 $20,000~$50,000 |
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極限真空 |
10?2 Pa（需配合分子泵） |
10?3 Pa（獨立工作） |
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維護成本 |
年約 $800（換油+濾芯） |
年約 $3,000（螺桿組件更換） |
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適用場景 |
中小型鍍膜機、非超潔凈鍍膜、間歇式生產 |
大型連續鍍膜線、超低污染要求（如激光鏡片） |
典型應用案例
案例1：AR眼鏡增透膜鍍制
- 痛點：傳統泵抽氣慢導致鍍膜周期長（單批次4小時），油蒸氣引起膜層霧化。
- 解決方案：
采用愛發科VDN-300油泵+分子篩過濾器，匹配渦輪分子泵組。
-成果：
- 前級抽氣時間從30分鐘縮短至12分鐘，單批次鍍膜時間降至2.5小時；
- 膜層霧度從0.8%降至0.15%，透光率達標率99.3%。
案例2：光學濾光片批量生產
- 痛點：鍍膜腔體顆粒污染導致良率僅85%。
- 方案：
愛發科 **G-200D油泵+前置旋風除塵器**，真空管路加裝波紋管隔振。
- 成果：
- 顆粒污染物減少70%，良率提升至93%；
- 設備綜合能耗降低25%，年省電費 $8,000。
油蒸氣控制關鍵技術
1. 多級過濾系統：
- 機械捕集：離心式油霧分離器（效率＞95%）；
-吸附凈化：活性炭+分子篩復合濾芯（殘留油蒸氣＜0.01 ppm）。
2.低溫冷阱：
- 溫度降至-40℃，冷凝回流油蒸氣，避免返流至鍍膜腔體。
3.智能監控：
- 油品狀態傳感器實時預警，確保潤滑油未裂解碳化。
選型與維護指南
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鍍膜類型 |
推薦型號 |
關鍵配置 |
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常規光學鍍膜 |
VDN-200 |
分子篩過濾器+變頻驅動 |
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高精度激光鏡片 |
G-100D（不銹鋼） |
低溫冷阱+振動隔離底座 |
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大批量生產 |
G-500D |
雙進氣口+耐粉塵預過濾系統 |
維護要點：
- 每 2000小時 更換專用低蒸氣壓真空泵油（如ULVAC L-80）；- 每 6個月 清潔或更換油霧過濾器濾芯；
- 避免連續抽取可凝性氣體（如水蒸氣），需加裝氣鎮閥。
愛發科油式旋片真空泵以 高性價比、快速抽氣及可控的油污染，成為中小型光學鍍膜設備的理想前級泵選擇。通過 多級過濾+智能監控，可滿足大多數光學薄膜（增透膜、反射膜、濾光片）的潔凈度需求，尤其適合：
1. 預算有限 的鍍膜代工廠；
2. 非極端潔凈 的工藝場景（透光率要求＜99.9%）；
3.間歇式生產 線，需頻繁啟停的設備。
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