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它依靠電脈沖信號驅動轉子分步旋轉，同時解決普通步進電機真空放氣污染、無空氣散熱、油脂揮發抱死、高低溫形變失效四大真空工況痛點，廣泛用于真空精密位移場景。
一、核心基礎參數
工作溫區：標準定制區間 -100℃低溫～300℃高溫，可拓展至 - 196℃液氮深冷、350℃超高溫版本
真空適配：支持高真空 / 超高真空，標準可達 10??Pa，超高真空款可做到 10?1?Pa，低放氣、不污染腔體
標準機框：28/42/57/86（NEMA11/17/23/34）兩相混合式，步距角 1.8°，保持扭矩 0.05~8.7Nm 可選
供電規格：DC24V/48V，可定制寬壓、特種驅動匹配繞組
二、高低溫真空專用核心工藝（適配 - 100~300℃工況）
1. 繞組絕緣（耐受 300℃）
定子采用聚酰亞胺 PI 高溫漆包線，真空浸漬無溶劑高溫樹脂；玻璃化溫度超 300℃，低溫 - 100℃不開裂、不脆化，真空下總質量損失 TML＜0.1%，低揮發不污染腔體。
2. 耐高溫磁鋼
標配釤鈷 SmCo 磁鋼，300℃長期工作不退磁；區別普通釹鐵硼，寬溫區間扭矩衰減極小，適配持續高溫烘烤工況。
3. 結構與低溫穩定材質
機殼、端蓋、輸出軸全奧氏體不銹鋼，低膨脹系數，-100℃深冷無變形、無冷脆；全部粘接劑為真空專用低出氣高溫膠，杜絕高溫脫膠、低溫開裂。
4. 真空專用無油潤滑
軸承采用固體二硫化鉬 / 氮化硅陶瓷軸承，無液態油脂揮發；徹底解決真空環境潤滑失效、抱死問題，-100℃~300℃全溫區長效運轉。
5. 出線與線纜
耐高溫 Kapton 真空專用線纜，耐 300℃高溫、耐深冷；出線密封做真空氣密處理，杜絕漏氣、放氣。
三、全維度定制選項（按需開發）
結構定制
單出軸 / 雙出軸、螺紋軸、空心軸、加長軸、扁軸
法蘭尺寸、機身長度、安裝孔位非標修改
內置剎車、PT100/K 型熱電偶測溫反饋
性能定制
扭矩、電流、電感、電阻匹配專用驅動器
四相 / 五相步進、更小步距角（0.9°）
耐輻照、抗沖擊、抗霉菌、潔凈無塵版本
環境升級
溫區微調：如 - 100~250℃、-150~300℃
更高真空等級 10??~10?1?Pa 超高真空 UHV 款
配套同溫區真空高低溫驅動器
四、典型應用場景
半導體：真空探針臺、晶圓傳輸腔體、刻蝕鍍膜設備
航天環模：空間環境模擬艙、高低溫真空試驗臺
科研設備：真空光學平臺、低溫樣品位移臺、超高真空儀器
工業特種：高溫真空燒結爐、凍干真空設備、特種材料測試設備
五、產品核心優勢
寬溫域一體兼容：-100℃極寒至 300℃高溫連續運行，冷熱循環無性能衰減
超低放氣全套材料，滿足半導體、光學高潔凈腔體要求
真空無油固體潤滑，無油脂蒸發污染，長壽命免維護
全流程潔凈室裝配、高溫烘烤除氣出廠，到手即可裝入真空腔體
全尺寸非標定制，可配套減速機、編碼器、直線模組一體化方案
