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?SUSS 勻膠機臺式加熱板MicroTec HP8TT
一、 產品概述?
SUSS HP8TT 是一款專為研發(R&D)、實驗室和小規模生產設計的臺式手動熱板。其核心設計目標是提供均勻的溫度分布、高重復精度的加熱斜坡,以確保工藝結果的穩定性和一致性。
?二、 核心特點與優勢?
?均勻加熱?:采用獨特的盤內加熱線圈布局(非傳統加熱棒),有效避免熱點或冷點,實現溫度均勻性。
?高精度控制?:配備專用觸摸屏控制器,可編程加熱斜坡(0-10 °C/分鐘),支持多達200個配方,每個配方最多40個步驟,步驟時間可精確到1秒。
?靈活兼容?:與 SUSS 的 RCD8 涂膠顯影平臺或 LabSpin 系列工具匹配,具有相同的占地面積、外觀和可靠性,可實現統一控制。
?堅固易清潔?:熱板表面采用高性能保護涂層,增強機械和化學抵抗力,便于清潔。
?標準提升針?:標配提升針,便于安全、便捷地取放基板。
?三、 主要技術規格 (HP8TT 基礎系統)?
?型號?:HP8TT (臺式)
?處理能力?:支持直徑最大200mm的晶圓或最大6" x 6"的基板。
?溫度范圍?:60 - 250 °C。
?溫度均勻性?:120°C以下為 ±0.5°C,120°C及以上為 ±1%。
?控制器?:集成觸摸屏控制器。
?設備尺寸 (含控制器)?:463 mm (長) x 378 mm (寬) x 628 mm (高)。
?文檔?:包含潔凈室紙質文檔(操作手冊、預防性維護手冊、原理圖)及電子版(CD)。
?四、 可選功能?
?近接烘烤 (Proximity)?:允許基板與熱板表面在0.00 mm - 9.00 mm范圍內無接觸處理,基板在工藝過程中僅與提升針接觸。
?氮氣吹掃?:可手動調節流量(帶數字顯示),并可在配方編輯器中為每個步驟單獨選擇啟用。
?多種安裝方式?:除臺式(TT)外,還可選工作臺安裝(BM)或獨立式(T)。
?封閉式雙層蓋?:確保工藝條件穩定,并防止操作員意外觸碰高溫表面。
SUSS 勻膠機臺式加熱板MicroTec HP8TT
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