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SUSS Labspin 8TT臺式旋涂機

?一、 核心優勢：專為靈活與精度而生?

Labspin 8TT并非一臺普通的旋涂機，它專為處理?最大200毫米圓形或150毫米方形?的晶圓與基板而設計，完美覆蓋了從科研探索到小規模試生產的廣泛需求。其設計的核心理念在于?用戶友好與工藝可擴展性?。

• ?靈活工藝，隨心而控?：設備支持可調的滴液位置，讓您能根據材料特性優化涂布起始點。獨特的卡盤振蕩功能，專為“水坑式”顯影工藝設計，能有效減少顯影時間，提升效率。此外，它還集成了?邊珠去除功能?，確保旋涂后基片邊緣的薄膜均勻、無厚邊，這對于許多光學和電子應用至關重要。
• ?杜絕污染，快速切換?：創新的可拆卸式工藝碗設計，讓在不同化學試劑或工藝步驟間的轉換變得異常迅速和簡單，徹底避免了不同材料間的交叉污染，保障了實驗結果的純凈與可靠。
• ?直觀操作，安全可靠?：正面面板集成的廢液瓶不僅方便取放，更能讓您隨時監控廢液液位。直連式中空軸電機搭配透明的真空管路液體分離器，使維護狀態一目了然。內置的真空監控和蓋板開啟安全互鎖功能，為操作人員提供了堅實的安全保障。

?二、 卓越性能：穩定成就每一次完美涂布?

在硬性指標上，Labspin 8TT同樣毫不妥協，為可重復的高質量結果奠定了基礎。

• ?精準轉速控制?：轉速范圍覆蓋50至8，000 rpm，在200毫米卡盤上控制精度可達?±1 rpm?，確保從低速鋪展到高速甩薄都能精確復現。
• ?迅猛加速能力?：高達?4，000 rpm/秒?的加速度，能滿足對動態過程有嚴格要求的先進工藝。
• ?強大的工藝管理?：設備最多可存儲?200個工藝配方?，每個配方支持多達40個步驟，輕松應對復雜多樣的實驗流程與批量生產任務。
• ?緊湊堅固的設計?：整機集成于不銹鋼臺式機柜中，尺寸精巧（350 x 446 x 430 mm），節省寶貴的實驗室空間，同時確保了設備的耐用性。

?三、 全面配置：為您的專屬需求量身打造?

標準系統已包含從旋涂模塊、控制單元到安全玻璃碗蓋和聚丙烯工藝碗的全套組件，開箱即用，并附含技術文檔光盤及EC符合性聲明。

為了滿足多樣化的樣品需求，Labspin 8TT提供了一系列?可選的真空卡盤?：

• ?標準晶圓卡盤?：適配R2（2英寸）、R3、R4、R6直至R8（200毫米）等多種標準尺寸晶圓，全部采用POM材質，符合SEMI標準，確保穩固且無污染的夾持。
• ?特殊尺寸卡盤?：為不規則或特殊尺寸基板提供了無定心銷的卡盤選項（真空區域直徑3mm、16mm、30mm），極大地拓展了設備應用范圍。