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氧化硅拋光液 MYH-SOP480
氧化硅拋光液 MYH-SOP480
產品價格:¥120.00(人民幣)
  • 供應數量:1
  • 發貨地:江蘇-常州
  • 最小起訂量:1千克
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    商鋪名稱:銘衍海(常州)微電子有限公司

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    商品詳情

      產品簡介

      銘衍海氧化硅拋光液 MYH-SOP480 光通信 + 半導體雙領域超精密拋光核心耗材,核心成分為電子級高純度超細納米氧化硅磨粒,依托柔性拋光原理,可實現光學器件端面原子級光潔、半導體晶圓納米級平整,無損傷精整基材,兼顧光通信超低插損需求與半導體制程嚴苛標準,適配高端量產加工。


      超精密鏡面拋光,雙領域高端適配,實現:

      1. 光器件超低插損、超高回波損耗,滿足 800G/1.6T 超高速光通信;
      2. 半導體晶圓納米級平整度,適配光刻、蝕刻等后續制程,提升良率;
      3. 全流程無損傷加工,不劃傷基材、無晶格缺陷、無雜質污染。

      三、產品特點

      1. 磨粒超精高純:電子級高純度球形磨粒,粒徑分布窄,金屬離子含量極低,原子級去除,無劃痕、無殘留、無污染;
      2. 柔性無損傷拋光:適配光通信石英 / 陶瓷 / 金屬基材、半導體硅基 / 氧化硅基晶圓,無劃傷、無晶格損傷;
      3. 懸浮穩定:高端水性分散配方,磨粒不團聚、久置不分層,批量拋光一致性≥99.5%
      4. 環保易清無殘留:純水基體系,無 VOC、無重金屬,純水可快速沖凈,符合清潔生產要求;
      5. 雙領域全適配:兼容光通信全規格連接器 / 光器件,適配半導體各類晶圓 / 襯底,一液多用,無需換耗材;
      6. 高效量產適配:拋光效率較傳統產品提升 60%,磨粒與基材貼合性佳,適配規模化量產。

      四、應用范圍

      核心用于高端光通信器件超精密鏡面拋光半導體晶圓納米級精密拋光,精整表面、優化性能、保障制程適配性,適用如下:

      一、高端光通信器件

      1. 全規格連接器:SC/LC/FC/ST/MU 單芯、MPO/MTP 4~48 芯高密連接器及尾纖 / 跳線頭 / 適配器插芯;
      2. 特種光纖 / 插芯:保偏光纖、大芯徑 / 稀土摻雜光纖連接器,氧化鋯陶瓷 / 玻璃 / 金屬插芯;
      3. 高端輔件:光纖光柵、傳感器、光開關等核心光學端面。

      二、半導體晶圓及基材

      1. 硅基晶圓:單 / 多晶硅晶圓前道精拋、后道制程表面整飾;
      2. 氧化硅基晶圓:SiO?/SiON 襯底、SOI 絕緣體上硅晶圓納米級拋光;
      3. 配套基材:半導體封裝硅襯底、陶瓷襯底精密拋光;
      4. 微納器件:半導體光電器件、微納傳感器晶圓級芯片表面精整。

      五、常見類型

      1. 半導體專用拋光液:電子級純度定制,適配硅基 / 氧化硅基晶圓,無雜質污染;
      2. 雙領域通用拋光液:兼顧光通信器件與半導體小型晶圓 / 襯底,一液多用;
      3. 二合一高效拋光液:集成粗拋 + 精拋,提效 60%,適配光通信連接器量產。

      六、儲存與使用

      1. 儲存5℃~28℃陰涼干燥密封保存,防凍防高溫、避免溫度驟變;半導體使用需在無塵車間恒溫儲存,遠離酸堿 / 有機溶劑;
      2. 使用前:輕輕搖勻,半導體制程使用前需精密過濾,本品為即用型,無需稀釋;
      3. 注意:開封后 2 個月內用完,用后立即密封;拋光后純水沖凈表面,確保無殘留;半導體用款采用電子級潔凈包裝。

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