半導(dǎo)體芯片雙門雙控氮氣烤箱 志昇高精密干燥機
產(chǎn)品價格：￥12.00（人民幣）
商鋪名稱：志昇自動化設(shè)備（深圳）有限公司
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商品詳情
志昇半導(dǎo)體推出的雙門雙控氮氣烤箱，專為高端集成電路封裝與晶圓工藝設(shè)計，融合工業(yè)級潔凈環(huán)境控制與精準(zhǔn)熱管理技術(shù)，滿足半導(dǎo)體制造中對氧化防護(hù)、溫控一致性與生產(chǎn)連續(xù)性的嚴(yán)苛需求。
?雙門隔離系統(tǒng)?采用氣密式對開門結(jié)構(gòu)，配合耐高溫硅橡膠密封條與正壓氣簾設(shè)計，實現(xiàn)工藝腔體與外部環(huán)境的物理隔離。操作時僅開啟單側(cè)門體即可完成晶圓取放，有效阻隔塵埃顆粒侵入（符合Class 1000潔凈標(biāo)準(zhǔn)），同時減少腔內(nèi)氮氣消耗達(dá)40%，保障連續(xù)生產(chǎn)中環(huán)境穩(wěn)定性。
?獨立雙控溫區(qū)?配備兩套完全分離的加熱回路與溫度傳感網(wǎng)絡(luò)，支持上下腔體差異化工藝運行。例如，上腔可設(shè)定150°C進(jìn)行環(huán)氧樹脂固化，下腔同步執(zhí)行200°C高溫退火，溫控精度達(dá)±0.3°C
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