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反滲透主機：主要有增壓泵、膜殼、反滲透膜、控制電路等組成，是整個水處理系統中的核心部分，產水水質的好壞也取決該部分。只要膜的型號及增壓泵的型號選取得當，反滲透主機對水中鹽分的過濾能力都能達到99%以上，出水電導率可保證在10us/cm（25度）以內。

后處理部分：主要是對反滲透主機制取的純水作進一步的處理，如果后續工藝接離子交換或電去離子（EDI)設備，則可以制取工業用超純水，如果用在民用直飲水工藝上，則常常接后置殺菌裝置，例如可以接紫外線殺菌燈或者臭氧發生器，從而使出來的水可以直接引用。

清洗部分：為了保證反滲透設備系統的正常運行及延長反滲透膜元件的使用壽命，當反滲透設備系統運行一段時間后為去除碳酸鈣垢、水中金屬氧化物垢、生物滋長等物質就需要對系統進行清洗。

去離子水設備既是離子交換系統，離子交換系統是通過陰、陽離子交換樹脂對水中的各種陰、陽離子進行置換的一種傳統水處理工藝。被廣泛應用在電子、電力超純水，化工，電鍍超純水，鍋爐補給水及醫藥用超純水等工業超純水，高純水的制備上。去離子水設備，事實上就是在反滲透設備中添加混床或EDI以使水質達到更高標準。是超純水設備中的必要環節。

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高純水：高純水是化學純度極高的水，其中的雜質的含量小于0.1mg/L。目前人們制成的高純水的純度已經達到99%，其中雜質含量低于0.01mg/L。高純水主要指水的溫度為25℃時，電導率小于0.1us/cm ,pH值為6.8-7.0及去除其他雜質和細菌的水。高純水是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水。高純水的含鹽量在0.3mg/L以下,電導率小于0.2μs/cm。
連續電除鹽,是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子交換膜而被除去的過程。這一過程離子交換樹脂是電連續再生的，因此不需要使用酸和堿對之再生。這一新技術可以替代傳統的離子交換裝置，生產出高達18M-CM的超純水。

EDI膜堆是利用陰、陽離子膜，采用對稱堆放的形式，在陰、陽離子膜中間夾著陰、陽離子樹脂，分別在直流電壓的作用下，進行陰、陽離子交換。而同時在電壓梯度的作用下，水會發生電解產生大量H+和OH-，這些H+和OH-對離子膜中間的陰、陽離子不斷地進行了再生。由于EDI不停進行交換——再生，使得純水度越來越高，所以，輕而易舉的產生了高純度的高純水。

edi高純水設備是將反滲透技術和離子交換技術結合后形成的專業制備超純水的工具，它采用微電腦智能程序控制系統，可以自動檢測并顯示水質;在獲得高質量產水的同時，保證出水量。
edi高純水設備的優點:

1.可連續，穩定地生產高品質純水，無需因樹脂再生而停機；
2.無污染物排放，既環保又省去了廢液處理的投資；
3.設備結構緊湊，占地面積小，節省空間，同時還具有節能優點；
4.出廠完成裝置調試，現場工作量小，上崗培訓容易；
5.日常保養，操作簡單，勞動強度低。
6.脫鹽率大于99.9%，效率遠遠高于兩級反滲透和單純的離子交換。