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商品詳情
- 緊湊而高性能的晶圓表面檢測設備。表面粒子掃描儀。
新開發的高性能，節省空間的類型。
安裝面積為YPI-200的50％。
它是一種緊湊的表面檢查
設備，可以根據使用模式進行移動，精度高達0.15μm，同時又節省了空間。
作為可選功能，可以為透明基板安裝前/后分離功能（通過消除后表面的影響來執行前表面的測量）。
測量結果可以通過檢測圖大小，歷史和異物圖像顯示并記錄在附帶的P / C上，并帶有顆粒數量。設備規格
- 工作尺寸200 x 200 mm，φ200mm（可提供φ300mm測量* 1）
- 最小檢測到的顆粒尺寸（Si PSL裸顆粒）Si晶圓0.152μm
透明玻璃基板0.3μm（需要可選設備）- 激光/檢測單元使用405 nm（藍色激光）和光電倍增管（PMT）
- 掃描方式XY，螺旋掃描
- 工作提供方法手動的
- 設備尺寸（寬x深x高）W548 x D572 x H962（mm）通過P / C
- 設備重量90kg（不含P / C）
- 電源AC100V 15A
* 1當支持φ300mm時，深度尺寸會改變。
到頂部 - 工作尺寸200 x 200 mm，φ200mm（可提供φ300mm測量* 1）
日本ygkcop表面粒子掃描儀[YPI-MN]
YPI-MX-ΘDC
YPI-MN緊湊型高性能晶圓表面檢測設備
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