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上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 3000 最適合大型真空系統, 與友廠大功率離子源對比, eH 3000 是目前市場上最高效, 提供最高離子束流的離子源.

尺寸: 直徑= 9.7“ 高= 6“

放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A

操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體

伯東 KRI 霍爾離子源 eH 3000 特性：

1.水冷 - 加速冷卻

2.可拆卸陽極組件 - 易于維護; 維護時,最大限度地減少停機時間; 即插即用備用陽極

3.寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率

4.多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統; 安裝方便

5.高效的等離子轉換和穩定的功率控制

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 技術參數:

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

伯東 KRI 霍爾離子源 eH 3000 應用領域：

1. 濺鍍和蒸發鍍膜 PC

2. 輔助鍍膜 ( 光學鍍膜 ) IBAD

3. 表面改性, 激活 SM

4. 直接沉積 DD