主要用途

• 滑動部件（機械密封、化工泵軸承、軸）
• 粉碎機部件（分級機、氣流粉碎機、砂磨機）
• 半導體制造設備部件（XY平臺、MOCVD托盤、聚焦環、晶圓夾盤）
• 成型機部件（相機鏡頭成型機部件）
• 耐熱部件（燃燒器噴嘴、高溫試驗機部件、熔融金屬用坩堝）
• 耐磨部件（噴砂機噴嘴、噴丸機拋丸機葉片、埋地管道保護板、釣具導向環）

特點

碳化硅是一種黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高溫環境（1000℃以上）中機械強度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其強共價鍵，在各種精密陶瓷材料中硬度最高、耐腐蝕性優異、在液體中的滑動特性良好。
利用這些特點，使用在機械密封、化工泵軸承等方面。此外，也可用于半導體生產設備的晶圓叉等。

碳化硅

熱膨脹系數為RT～200℃時的測量數據。