商鋪名稱：江蘇前錦爐業設備有限公司
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一、設備名稱：硅片氣氛保護實驗輥道爐
二、設備用途：主要生產硅片（156x156x0.2mm）氧化性無塵生產實驗
三、 主要技術參數
3.1???爐膛尺寸：??1380×500×100 (L×W×H)mm
3.2???外形尺寸： ?1980×1500×1100（L×W×H）mm
3.3???額定溫度： ?1300℃
3.4???工作溫度： ?1000℃
3.5 ??控溫精度： ?≤±2℃
3.6 ??爐內溫差: ??≤±5℃
3.7 ??爐外溫度： ?≤±40℃
3.8 ??控溫組數： ?3溫區3 個控溫表
3.9 ??工作速度： 全窯按5min計算，400mm/min，
3.10 ?調速范圍： 120～700mm/min，
3.11 ?加熱方式： 電加熱，爐內的上部安裝
3.12 ?加熱元件： 硅碳棒,上部安裝
3.13 ?加熱功率： 36 KW
3.14 ?保溫功率： 25KW
3.15 ?加熱長度： 1080mm
3.16 ?爐襯材質： 整條設備爐內采用剛玉材質作為爐膛
3.17 ?保溫材料： 輕質保溫磚和纖維棉
3.18 ?保溫層次: ??底部330mm，兩側面各350mm,爐頂400mm
3.19 ?控 制 柜： ?獨立全自動控制
3.20 ?設備結構： ?共1段
3.21 ?冷卻方式： 自然冷卻
3.22 ?輸送方式： 45°斜齒輪傳動
3.23 ?速度控制： 無極變頻控制
3.24 ?進氣類別： 氮氣和氧氣
