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酸霧的形成機理主要包括酸性表面的蒸發和酸性溶液中的化學反應。前者是從酸性表面蒸發的酸性分子進入空氣，與空氣中的水凝結形成霧滴。后者是指在酸性溶液中的化學反應會形成氣泡，并在上升到液面后爆炸，帶出液滴形成酸霧。此外，隨著酸霧的排放過程，不可避免地會有分子態酸性氣體污染物(如SO2和NOx)的排放，因此酸霧廢氣的排放過程和排放的污染物成分較為復雜。