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    有機廢氣主要包括碳烴化合物、苯及苯系物、醇類、酮類、酚類、醛類、酯類、胺類、腈、氰等有機化合物。主要來自汽車尾氣，電子、化工、石油化工、涂料、印刷、涂裝、家具、皮革等行業產生。根據有機廢氣成分推薦采用低溫等離子廢氣處理設備
    低溫等離子廢氣處理設備凈化有廢氣的技術原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有極強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。
    低溫等離子廢氣處理技術過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
    （1)電場＋電子→高能電子
    (2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
    (3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
    (4)活性基團＋活性基團→生成物+熱
    從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
    低溫等離子廢氣處理設備的性能特點：
    1、科技含量高，引進國外先進技術。
    2、模塊設計、靈活簡便，安裝簡單，占地面積小。
    3、放電強度大，產生高能等離子體密度大。
    4、聯合等離子體中光子的協同作用較傳統的電暈放電和DDBD，更加高效的降解廢氣。
    5、空氣阻力小，減少壓降損失。耗電量小。
    6、適用于多數的惡臭廢氣和有機廢氣，降解率高。
    7、電極不與處理廢氣直接接觸，使用壽命長。
    8、不宜用于高溫高濕度的氣體，大風量情況下不建議使用。