哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH
產(chǎn)品價格：￥23456.00（人民幣）
商鋪名稱：上海浜田實業(yè)有限公司
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郵編：201803
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商品詳情
是真正涂布粘著在晶圓上之數(shù)十甚至數(shù)百倍，極其可惜；哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH因為甩到晶圓外的光阻中有機溶劑迅速揮發(fā)逸散，成份大變，不能回收再使用。
5、厚光阻
德國Karl-Suss公司開發(fā)了一種新型的光阻涂布機，哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH稱為GYRSET??，其賣點在于強調(diào)可減少一半的光阻用量，且得出更均厚的光阻分布。其原理極為單純：只是在真空轉(zhuǎn)臺上加裝了跟著同步旋轉(zhuǎn)的蓋子。如此一來，等于強迫晶圓與蓋子之間的空氣跟著旋轉(zhuǎn)，那么光阻上便無高轉(zhuǎn)速差哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH的粘性旋轉(zhuǎn)拖曳作用。故光阻在被涂布時，其與周遭流體之相對運動并不明顯
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