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低溫等離子體廢氣處理設(shè)備和技術(shù)作為一種新型的氣態(tài)污染物的治理技術(shù)是一個(gè)集物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和環(huán)境科學(xué)于一體的交叉綜合性電子化學(xué)技術(shù)，可以高效分解污染物分子，并且處理能耗低等特點(diǎn)，是目前國(guó)內(nèi)外大氣污染治理中最行之有效的技術(shù)方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為VOC類(lèi)有機(jī)廢氣及惡臭氣體的治理開(kāi)辟了一條新的道路。

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的著火電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱(chēng)為低溫等離子體。

低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)達(dá)到分解污染物的目的。