真空系統
在真空實用技術，真空的獲得和測量是最重要的兩個方面。在一個真空系統中，真空獲得的設備和測量儀器是必不可少的。工業實用中，真空系統是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統。目前，該系統廣泛應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
每套真空系統出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現場進行簡單的連接電源和管道，即可以組成一個完整的真空系統。隨著電子技術和計算機技術的發展，各種真空獲得設備向高抽速、高極限真空、無污染方向發展。各種真空測量設備與微型計算機相結合，具有數字顯示、數據打印、自動監控和自動切換量程等功能。該真空系統的控制系統由先進的PLC控制系統經過編程后組成，以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。
真空系統自啟動后，全部運行過程可以實現全自動控制。在工作中，真空系統內各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內上下波動，其波動范圍可根據用戶要求進行調整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空系統能達到較好的流程工藝。
當需要獲得高真空度時，通常需要在真空系統中串聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。啟動系統，主真空泵組開始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動停止運行，中央真空系統內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環往復，真空系統的真空度能夠維持穩定的真空源，滿足生產的要求。
應用行業：電工、紡織、CNC雕刻機、真空成型機、折頁機、爆光機、計算機、半導體運用、線路板、電池、電容、裝訂機、照相制版機、冷凍空調制程真空、包裝機、變壓器、光學鏡片、自動注型、聚氨脂工藝、標簽粘貼機、曬版機、線路板機真空升降機、真空吸盤、印刷機、VCD&DVD光盤表面真空濺鍍、工業爐、冶煉和熱處理、金屬真空鍍膜、真空焊接、電子束焊等、真空鍍膜、真空干焊、真空包裝工業、空間模擬、科研領域、醫院負壓系統、環保工業、電子工業、實驗室、塑膠工業、一般機機械、玻璃、大理石、金屬大型重物真空搬運等工業。