影響真空泵真空度的因素多種多樣，例如密封方式、配件間隙、材質好壞等等，本文主要分析潤滑油對真空泵真空度的影響，因為油質的好壞也會影響真空泵的真空度，以下三點是東莞市豫德機電設備有限公司技術部工人提供的關于真空泵對潤滑油的要求，希望對大家有所幫助。
(1) 具有適當的粘度
油品粘度過小，潤滑性滿足不了要求，密封性也不好，粘度過大，內摩擦大，轉子轉動困難，動能消耗增大，油溫也隨著升高。油溫升高會加速油品的氧化變質，尤其是對旋片式真空泵而言。
(2) 有較低的飽和蒸氣壓
油品的“蒸氣壓”指標低，才能在真空泵中低壓高溫的工作條件下不易蒸發，以保證得到所需要的真空度。
(3) 抗氧化安定性要好，使用中油品不易氧化變質。
一般真空泵選用的是真空泵油。目前國產真空泵油只有1號，是用天然原油，深度精制而成。在真空泵中起到潤滑、密封作用。
(4) 良好的抗腐蝕性和抗乳化性
真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。
(5) 較高的閃點
主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。