云南某大學實驗室采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140離子束濺射制備尺寸均勻、高密度的 MnGe 量子點, MnGe 量子點屬于半導體量子材料的領域.
伯東 KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數:
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型號 |
RFICP 140 |
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Discharge |
RFICP 射頻 |
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離子束流 |
>600 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
14 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
5-30 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
24.6 cm |
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直徑 |
24.6 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
運行結果:
KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 可控性強, 制備工藝簡單, 具有較強的商業價值.
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