眾所周知，蔡司的三坐標測量機都是高精度的代名詞，為了保證精度，蔡司三坐標通常都是采用精度較高的氣浮軸承的，因此需要使用壓縮空氣來保證軸承的使用。因此壓縮空氣的質量就至關重要了，它決定了蔡司三坐標測量機的使用壽命，和工作精度。對于壓縮空氣的處理，就會顯得很重要。
通常情況下，蔡司三坐標測量機在正常使用情況下，壓縮空氣會產生雜志的情況無外乎這幾種情況：一、在空壓器吸氣的時候，吸入了外部的不干凈的，含有雜志的氣體，或者是在安裝和維護維修時產生的雜物導致。
在空壓機對吸入的氣體進入壓縮的時候，可能因為吸入的空氣含有大量的水分、粉塵、油氣等各種微小顆粒雜質，這些雜質如果被壓縮后，接入三坐標，會對三坐標產生極大的損害。因此，必須要及時清除掉這些雜質，防止他們對三坐標的氣動單元系統造成無法估量的傷害。
這些含有大量微小顆粒的雜質，特別是其中還有機床冷卻油雜質的空氣，會使得測量機的氣浮軸承粘度增大，當累積到一定程度的時候會行程油泥，進而堵塞氣浮軸承中氣浮塊的氣孔，導致三坐標測量機氣動元件內的各類型運動件動作緩慢遲鈍不靈活。
如果只是含有的雜質是油氣還好，如果附帶氣源水分，那危害就更大了，因為水分會對三坐標測量機的金屬零部件進行腐蝕，嚴重損害機器，同時氣源的管道內還會附帶冷凝水，使得氣源的流量不足，壓力損失加大。同時，帶進來的粉塵和鐵屑還會導致運動部件的損耗，以致于三坐標的元器件動作不良，同時粉塵還會加速密封件的損傷，進而導致漏氣。
如果你的三坐標經常常出現不明故障，那么你所使用的氣源質量不佳也是可能的原因之一，質量不佳的氣源也會導致氣動系統的使用壽命和可靠性大大降低。
因此，一般情況下，蔡司的三坐標測量機都需要搭配專屬的氣源處理組件，通過對接入的壓縮空氣進行處理和凈化。